Модуль - Исходная единица измерения, устанавливаемая для данного сооружения, служащая мерилом для придания соразмерности отдельным частям здания (в архитектуре и строительстве) 6 букв
Мега- - Префикс, обозначающий миллион исходных единиц 5 букв(предложено AI)
Санти - Приставка к наименованию единицы физической величины для образования наименования дольной единицы, равной 10-2 от исходной 5 букв
Этимон - Исходное слово или словоформа, послужившие основой существующей в современном языке лексической единицы (в лингвистике) 6 букв